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潔凈室驗收及檢測設備、方法全介紹

潔凈室又可稱作無塵室(Cleanroom),通常用作專業工業生產或科學研究的一部分,包括制造藥品,集成電路,CRT,LCD,OLED和microLED顯示器等。潔凈室的設計是為了保持極低水平的微粒,如灰塵,空氣中的生物體,或汽化的微粒。確切地說,潔凈室有一個受控的污染水平,該水平由在指定的顆粒尺寸下每立方米的顆粒數來規定。潔凈室也可指任何給定的容納空間,在該空間中設置了減少微粒污染和控制其他環境參
產品描述
檢測指標

潔凈室驗收及檢測項目

風量或風速、室內靜壓差、空氣潔凈度等級、換氣次數、室內浮游菌和沉降菌、溫度和相對濕度、平均速度、速度不均勻度、噪聲、氣流流型、自凈時間、污染泄露、照度(照明)、甲醛、細菌濃度。

1、醫院潔凈手術部風速、換氣次數、靜壓差、潔凈度級別、溫濕度、噪聲、照度、細菌濃度。

2、醫藥工業潔凈廠房:空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間、已安裝過濾器泄漏、浮游菌、沉降菌。

3、電子工業潔凈廠房:空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間。

4、食品工業潔凈用房:定向氣流、靜壓差、潔凈度、空氣浮游菌、空氣沉降菌、噪聲、照度、溫度、相對濕度、自凈時間、甲醛、Ⅰ級工作區截面風速、開發的洞口風速、新風量。

潔凈室竣工驗收

潔凈室竣工以后和投產后,都需要進行性能測定和驗收;在系統大修或更新時,也要進行全面測定,在測定前對潔凈室的概況必須全面了解。

主要內容包括凈化空調系統和工藝布置的平、剖面圖及系統圖對空氣環境條件潔凈度級別溫、濕度風速等的要求空氣處理方案送回風、排風量及氣流組織人、物凈化方案潔凈室的使用情況廠區及其周圍污染情況等。

(一)潔凈室竣工驗收的外觀檢查應符合以下要求

1、各種管道、自動滅火裝置及凈化空調設備空調器、風機、凈化空調機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應正確、牢固、嚴密其偏差應符合有關規定。

2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風管與設備的連接處應有可靠密封。

3、各類調節裝置應嚴密、調節靈活、操作方便。

4、凈化空調箱、靜壓箱、風管系統及送、回風口無灰塵。

5、潔凈室的內墻面、頂棚表面和地面應光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現象。

6、送回風口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設備等穿越潔凈室時穿越處的密封處理應嚴密可靠。

7、潔凈室內各類配電盤、柜和進入潔凈室的電氣管線、管口應密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應符合有關規定。

潔凈室環境控制

潔凈室中對環境的控制主要有八個項目,根據達成的先后和邏輯順序,排列如下:

其中照度、噪音會影響工作人員的舒適性;潔凈度、正壓、靜風電阻、FFU泄露會影響到半導體制程;溫濕度既會影響人員的舒適性又會影響到制程。特定生產制程,對溫濕度有較高要求,而潔凈度會影響制程良率。因此在日常運行中,IPQC會針對潔凈度和溫濕度進行管控。

一般來講,空氣中含灰塵微粒濃度高則空氣潔凈度低,含灰塵微粒濃度低則潔凈度高。潔凈度的高低可以用潔凈度等級來區分。潔凈度級別則以每立方米空氣中的允許微粒數來確定。ISO-14644是國際標準,現在美國、歐洲、日本、俄羅斯和我國都采用此標準。美國原來應用的是美國聯邦標準209A、B、C、D、E,現在美國也不用了。原來我們熟悉的100級、1000級、10000級和100000級都是源自美國聯邦標準FS 209B。根據ISO 14644系列國際標準,潔凈室可分為九個等級,從1級到9級,其中1級潔凈度最高,9級最低。

ISO-14644的潔凈度等級標準如下:

圖片

其中,1級和2級潔凈室通常用于制造高精度產品,如硬盤驅動器和電子設備等。這些潔凈室的控制要求非常高,需要嚴格控制空氣中的懸浮粒子濃度和溫度。3級到8級潔凈室適用于不同行業的制造過程,例如半導體制造、制藥和醫療器械制造等。這些潔凈室的控制要求各不相同,但都需要保持空氣中的懸浮粒子濃度和溫度在規定的范圍內。9級潔凈室是最不嚴格的等級,通常用于不需要高度控制環境的情況,例如倉庫和辦公室等。

潔凈室環境檢測依據

包括規范、圖紙、設計文件和設備的技術資料等,分以下二類。

1、設計類設計文件、設計變更的證明文件及有關協議、竣工圖。

2、設備的技術資料。

3、《潔凈廠房設計規范》GB50073-20012、施工安裝類《通風與空調工程施工質量驗收規范》GB50243-2002




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